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产品[边缘检测传感器PBC-203VN2,PBZ-CL007V,PBC-201VN0]资料
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如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
边缘检测传感器PBC-203VN2,PBZ-CL007V,PBC-201VN0
产品型号:
产品展商:
日本山武azbil
简单介绍
边缘检测传感器PBC-203VN2,PBZ-CL007V,PBC-201VN0
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边缘检测传感器PBC-203VN2,PBZ-CL007V,PBC-201VN0的详细介绍
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azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器
概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。
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FDN算法
高精度的边缘检测*1
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针对检测面污垢会影响检测精度的课题，配置了线性图像传感器和光量衰减报警功能。
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透明物体检测用算法
可稳定检测透明物体。
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标准双通道输入控制器
可进行双检测值运算，减少布线工作量，节省空间。
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RS-485通信(仅对应PBC-201VN2/PBC-203VN2) 可将数据传输至PLC及触摸界面。
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**性能
JIS 1级光束。不需要任何特别保护措施。
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多功能
可忽略薄膜不规则部分的干扰消除功能*2
玻璃基板对准时倾斜度θ计算功能*3
通过位置变化检测功能可检测出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
*1. 重复精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. 仅 限于 PBC-201VN0/2
*3. 仅 限于 PBC-203VN2
 测定内容
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控制器型号
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边缘位置测定
(透明体或不透明体)
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遮光宽度测定
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间隙测定
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7 mm传感器头用PBC-201VN0
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○
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―
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―
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7 mm传感器头用PBC-201VN2
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○
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○
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○
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30 mm传感器头用PPBC-203VN2
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○
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―
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―
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重复精度 ±1 μm* — 准确检测出真实的边缘位置
FDN算法是一种对于任意的工作距离(WD)都能准确地计算出真实的边缘位置的算法。
*PBZ-CL007V的重复精度为±1 μm，PBZ-CL030H/V的重复精度为±5 μ。检测条件请参照规格。
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菲涅尔衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物体边缘处会发生衍射。受光部衍射光的强度分布取决于受光器与薄型物体之间的距离(WD)。
不受检测面污垢引起的受光光量衰减的影响
受光单元采用线性图像传感方式，不受检测面污垢的影响，实现高精度的检测。并且，
配置了“光强度衰减报警功能”，到了维修时期便会发出警报。
 
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传统方式(PD)
因遮光引起受光量的减少，使PD的线性输出发生变化。这种传统的PD方式，由于受光面污垢（或检测物透明度）造成受光光量衰减，使输出值发生变化。所以，为了防止污垢，需要进行空气吹扫。
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本公司的线性图像传感方式
根据各像素的亮度信息，测出遮光宽度。即使受光光量衰减，只要线性图像传感器的入光量不变，边缘位置的输出值就不会变化。
干扰消除功能
 不检测标签等凸起物，只检测薄膜的边缘。
将当前的测定值与设定时间（输出延迟时间）前的数值进行比较，如果变化量超过了设定值（跳读设定值），则保持变化前的数值并将其模拟输出。
θ演算功能
根据玻璃边缘的位置变化，演算倾斜度θ后输出。测量范围：±3°。
缺口检测功能（位置变化输出）
设定位置变化时间(T)和位置变化量(L)，如果变化量超过设定的倾斜度，进行数字(DO)输出。
应用
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检测晶圆的偏芯和缺口位置
能够稳定检测透明度高的玻璃晶圆或砷化镓晶圆。并且，由于采用了线性图像传感方式，因此还能越过视孔进行检测。
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检测薄膜蜷曲
通过使用2对传感器探头计算传感器探头间的输出值，可同时检测薄膜蜷曲和薄膜宽度。
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检测玻璃基板凹凸和裂痕
利用位置变化检测功能，可检测到传送带上的玻璃基板边缘的缺口和裂痕。
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测定玻璃基板的XYθ
利用3对传感器，除了能计算玻璃基板的X和Y值外，还能通过内部演算计算出θ值。
规格
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平行激光束类型
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传感器
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控制器
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传感器
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控制器
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型号
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PBZ-CL007V
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PBC-201VN0
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PBC-201VN2
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PBZ-CL030H
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PBZ-CL030V
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PBC-203VN2
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检测宽度
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7 mm
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30 mm
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测定距离
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10 - 300 mm
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10 - 500 mm
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工作距离(WD)
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10 - 290 mm
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10 - 490 mm
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移动精度
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±20 μm 咀大*1
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±50 μm 咀大*3
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重复精度
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±1 μm 咀大*2
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±5 μm 咀大*4
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模拟输出更新周期
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―
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500 μs
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―
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10 ms
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传感部温度特性
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0.1 % FS/°C
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―
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0.1 % FS/°C
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―
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使用温度范围
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0 - 45°C
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使用湿度范围
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30 - 85 % RH
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电源电压
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―
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24 Vdc ± 10 %
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―
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24 Vdc ± 10 %
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模拟输出
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―
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1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 输出
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―
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1 to 5 Vdc 或 ±5 V: 2 输出
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事件输出
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―
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同步型晶体管输出：4 点
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―
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同步型晶体管输出：4 点
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外部输入
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―
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2
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―
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2
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数字显示
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―
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7段4位
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―
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7段4位
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光源
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可视半导体激光: JIS 1级
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―
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可视半导体激光: JIS 1级
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―
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保护结构
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IP40
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IP40
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通信
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―
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RS-485
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―
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RS-485
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传感器探头与控制器间的缆线总长度
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咀大 5 m
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咀大 30 m
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上述规格是检测物体和边缘方向被设定为“不透明体TOP”或“不透明体BOTTOM”时的数据。其他设定时，请与本公司联系。
*1. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*2. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±3.5 mm的条件下，重复20次的平均值。
*3. 投受光器间距离=100 mm，工作距离=50 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±0.5 mm时。
*4. 投受光器间距离=20 mm，工作距离=10 mm，检测物位置=从测定宽度中心位置移动±15 mm的条件下，重复20次的平均值。
工作距离(WD): 受光器与检测物之间的距离
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